惠能南归广东后，于仪凤元年（676）正月初八到广州法性寺。据《瘗发塔记》载，当印宗法师在该寺讲《涅槃经》之际，“时有风吹幡动，一僧曰：风动；一僧曰：幡动；惠能进曰：不是风动，不是幡动，仁者心动”。印宗闻之竦然，即于正月十五日为他落发，二月初八受具足戒，因而有瘗发塔的遗迹。

惠能说法，“以定慧为本”，又曰“先立无念为宗”。所谓无念，就是虽有见闻觉知，而常空寂之意。关于“顿悟”。他的解释是：自心从本已来空寂者，是顿悟。即心无所住是顿悟；今于顿中立其渐者，即如登几层之台，要藉阶渐，终不向渐中而立渐义。又说：又有迷人，空心静坐，百无所思，自称为大。此一辈人，不可共说，为邪见故。他还说：“佛法在世间，不离世间觉。离世觅菩提，恰如觅兔角。”定偈语，不但扼要地说明了禅宗源于般若，而且为禅宗的开展，奠定了理论基础，对于后来各派禅师们的建立门庭，影响极大。

开元二年（713），惠能卒于新州国恩寺。韶、广二州门人，迎惠能遗体至曹溪南华寺供奉至今。