第五章   精密加工中的测量技术

　　（一）课程内容

　　本章主要介绍了精密测量技术；长度基准；测量平台；直线度、平面度和垂直度的测量；角度和圆分度的测量；圆度和回转精度的测量；激光测量。

　　（二）考核知识点和考核要求

　　1、识记：精密测量的环境条件，量具和量仪材料的选择，直线度、平面度和垂直度的测量方法及其原理，精密多齿分度盘的工作原理，激光测量的基本原理。

　　2、领会：圆度和回转精度的测量方法及其工作原理。

　　第六章  在线检测与误差补偿技术

　　（一）课程内容

　　本章主要介绍了加工精度的检测和误差补偿技术；在线检测和误差补偿方法；微位移技术。

　　（二）考核知识点和考核要求

　　1、识记：加工精度的检测方法，形状位置误差在线检测的方法，典型微位移工作台的工作原理。

　　2、领会：误差补偿的概念和类型，

　　第七章     精密研磨和抛光

　　（一）课程内容

　　本章主要介绍了研磨抛光机理；超精密平面研磨和抛光。

　　（二）考核知识点和考核要求

　　1、识记：平面研磨抛光的工艺规律

　　2、领会：研磨抛光机理和特点，

　　第八章   微细加工技术

　　（一）课程内容

　　本章主要介绍了微细加工技术的概念及其特点；微细加工机理；微细加工方法。

　　（二）考核知识点和考核要求

　　1、识记：微细加工机理，微细加工方法

　　2、领会：微细加工技术的概念及其特点

　　第九章   精密和超精密加工的支撑环境

　　（一）课程内容

　　本章主要介绍了空气环境和热环境；振动环境；噪声环境；精密和超精密加工的环境设施。

　　（二）考核知识点和考核要求

　　1、识记 ：空气洁净度，热环境与加工精度的关系，精密和超精密加工的环境设施

　　第十章   纳米技术